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真正的AG网址是哪个来自光刻机的消息难怪ASML有

发布时间:2020-11-21 21:59

  自华为被禁令断供芯片之后,我国在集成电路各个方面都加快了步伐,特别是芯片制造产业链,这个最薄弱的环节,制造设备、材料加大研发力度。一部分大学把集成电路升级为一级学科,以解决我国集成电路人才紧缺以及研发经费问题,中科院也宣布研制光刻机,同时宣布禁令清单就是研究任务名单。

  华为也成立了多个基金向一部分企业,都是卡脖子产品自主发展的企业投资,并在技术上扶持,如哈勃投资已经投资了几十个企业,包括芯片制造产业链上的厂家,特别是材料方面的厂家。

  但是,我们也要清醒的认识到,高技术产品不是我们一投资马上就能见效的,需要时间的沉淀和技术的积累,特别是一些高科技的设备、工艺别人花了几十年不断研究迭代,才到了今天的高度,其他人只要花点钱就能研究出来了,那肯定不是高科技产品,很多产品还有专利壁垒,你想绕开专利就要走弯道,而弯道大部分并不能超车,能超车的只是极少部分。

  比如说光刻机,目前世界上生产最先进的光刻机只有一家--ASML,但ASML实际上就是一家集成商,十万个零部件大部分从全球先进的供应商购买,如大功率EUV光源是美国的,最顶级的镜头是德国的,轴承和精密机械也是德国和瑞典的以及日本的材料。

  虽然,我国中科院表态将研制光刻机,但如果使用的零部件达不到最先进,生产出来的光刻机自然也不可能达到最先进,当然尽管研制出来的不是最先进的,也需要我国自主研制,只有从不太先进的开始,慢慢迭代才可能慢慢赶上,想一口吃成个胖子是不现实的想法,其次还要避开专利壁垒,所以难度不是一般的大。

  不过最近,ASML却似乎有点急了,频频向我国释放善意。就在我国中科院宣布要研制光刻机的第二天,ASML中国区总裁就在一次会议上表示,ASML将加大在中国部署,在全国将成立多个办事处,并且将成立培训中心,培训使用和维护人员。其次ASML的CFO在回答记者提问时表示,ASML的中端产品如DUV光刻机向中国供货不需要美国许可证。

  ASML当然不想失去中国市场,目前中国市场在ASML对外销售占比达到20%,而在美国对华为禁令开始,中国的集成电路投资呈现百分之几百的增长,需要大量的光刻机,我国的半导体市场也占全球三分之二,因此ASML可不想失去这块肥肉。

  我国宣布研制光刻机,但真的形成市场至少需要几年甚至十多年时间,要知道,我国上微电子90nm的光刻机,虽然已经研制成功,但只能算一台样品,并没有交给工厂,因为这台光刻机很多关键零部件都是进口自国外,部分是美国的。

  但来自日本的消息可能是让ASML担心的,据日经新闻报道,中国已经与日本两家光刻机生产企业有了合作意向,共同开发光刻机,如果消息是真,那么光刻机的研制速度将大大提高,一是可以利用日本的一些零部件,二是可以避开ASML的一些专利壁垒。

  日本的尼康、佳能之前可是远超ASML的,鼎盛时期这两家企业的光刻机占据全球70%以上市场份额,那时ASML还租借在飞利浦的仓库里,前途未卜。

  转折点发生在2002年,当时光刻机光源波长卡在193nm,大家都在想怎么将光源波长缩短至157nm,很困难。真正的AG网址是哪个。这时台积电的工程师林本坚提出,何必要减少波长,用光在水中折射的原理就可以将193nm波长减少至132nm,其实这个设想林本坚在十多年前就提出,并进行了研究,但没有一家响应,因为水也会产生一些技术上的问题,水必须清洁,不能有一丝杂质,不能有气泡等,工艺也要改变。

  他带着浸没式光刻机的想法,找到当时的日本企业,但没有一家买他的帐,无奈才找到当时的小企业ASML,ASML愿意赌一把,一年后浸没式光刻机成功了,虽然后来日本的157nm波长的光刻机也成功了,但ASML的可是132nm,一举超过了日本企业。

  之后,英特尔成立极紫外光研究联盟,将日本企业排除在外,仅与ASML合作,英特尔、三星、真正的AG网址是哪个台积电都投资股份扶持ASML,日本企业被排除在主流光刻机之外,就是花钱研制出高端光刻机也没人要,索性也就制造中低端光刻机了。

  应该说,日本的尼康、佳能的技术水平还是不错的,日本在光刻机领域的专利全球最多,从内心里对英特尔等也憋了一口气的,如果能与我企业合作研制,我国有市场,也有经费,是可以打破ASML一统天下,就是不知尼康等是否真有这样的雄心呢。

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